Fakultet tehničkih nauka

Predmet: Mikrosenzori i MEMS (17.DE502)

Matične organizacione jedinice predmeta: Departman za energetiku, elektroniku i telekomunikacije
Osnovne informacije:
 
Kategorija Naučno-stručni
Uža naučna oblast Elektronika
ESPB 10

Priprema za istraživački rad u oblasti mikrosenzora i mikroelektromehaničkih sistema (MEMS).

- sposobnost projektovanja integrisanih senzora pritiska - sposobnost projektovanja induktivnih i kapacitivnih mikrosenzora za različite aplikacije - sposobnost fabrikacije projektovanih senzora u savremenih mikroelektronskim tehnologijama, a pre svega u MEMS tehnologiji

Osnovni koraci pri fabrikaciji komponenti u MEMS tehnologuji. Vrste MEMS tehnologija i njihove primene. Dizajn induktivnih senzora. Kapacitivni senzori. Mikrosenzori pritiska, pomeraja, pozicije. Primena implantiranih mikrosenzora u medicini (očni implanti, implanti za snimanje aktivnosti moždane kore). Primeri realizovanih senzora u MEMS tehnologji. Prednosti i nedostaci u odnosu na druge tehnologije. Deo nastave na predmetu se odvija kroz samostalni studijski istraživački rad u oblasti primene mikrosenzora i tehnologije za njihovu fabrikaciju. Studijski istraživački rad obuhvata aktivno praćenje primarnih naučnih izvora, organizaciju i izvođenje eksperimenata i statističku obradu podataka, numeričke simulacije, pisanje rada iz uže naučno nastavne oblasti kojoj pripada tema doktorske disertacije.

Predavanja, konsultacije. Pregled naučnih radova iz ove oblasti. Studijski istraživački rad.

Autori Naziv Godina Izdavač Jezik
Ljiljana Živanov Primena senzora i aktuatora (deo senzori) 2009 Skripta, Fakultet tehničkih nauka Srpski jezik
Ljiljana Živanov MEMS tehnologije 2009 Skripta, Fakultet tehničkih nauka Srpski jezik
M. Popović Senzori i merenja 1999 VEŠ, Beograd Srpski jezik
Lyshevski, S.E. MEMS and NEMS: Systems, Devices, and Structures 2002 CRC press, Boca Raton Engleski
Julian Gardner, Vijay Varadan, Osama Awadelkarim Microsensors, MEMS and smart devices 2007 John Wiley & Sons Ltd. Engleski
Predmetna aktivnost Predispitna Obavezna Broj poena
Predmetna aktivnost
Domaći zadatak
Predispitna
Da
Obavezna
Da
Broj poena
5.00
Predmetna aktivnost
Domaći zadatak
Predispitna
Da
Obavezna
Da
Broj poena
5.00
Predmetna aktivnost
Pismeni deo ispita - kombinovani zadaci i teorija
Predispitna
Ne
Obavezna
Da
Broj poena
70.00
Predmetna aktivnost
Seminarski rad
Predispitna
Da
Obavezna
Da
Broj poena
20.00
Predavanja
Predavanja